Основы расчёта неравновесных газовых разрядов с помощью COMSOL Multiphysics®

Газовые электрические разряды низкого давления и неравновесная низкотемпературная столкновительная плазма находят применение на различных этапах производства современных микро- и наноструктур для электроники и MEMS, обработки материалов и поверхностей, управления химическими реакциями, эмиссии э/м излучения и т.п. Физика плазмы является очень востребованным и, при этом, очень сложным направлением научных исследований. Компания COMSOL предлагает уникальные инструменты моделирования неравновесных газовых разрядов, реализованные в группе физических интерфейсов Plasma модуля «Плазма», расширяющего возможности платформы COMSOL Multiphysics®. В данном видеоуроке мы обсуждаем: - лежащую в основе физическую модель – т.н. флюидное приближение с сопряжённым расчётом транспортных уравнений для электронов, тяжелых частиц, уравнения для средней энергии электронов и уравнения Пуассона, которые дополнены большим набором объёмных и граничных условий; - ограничения реализованной формулировки и требуемые на входе данные,