Измеритель времени жизни носителей заряда поли- и монокристаллических подложек MDPmap

- Бесконтактное измерение электрических свойств MDP методом - Высочайшая чувствительность для визуализации невидимых дефектов и исследования эпитаксиальных слоев - Скорость измерения: < 5 минут для кремниевой подложки диаметром 150 мм, разрешение 1 мм - Определение загрязнений: металлические (Fe) загрязнения, возникающие в тиглях или от сопутствующего оборудования - Измерительная способность: от нарезанных подложек до готовых образцов - Гибкость: закрепленная измерительная головка позволяет использование внешних лазеров с синхронизацией - Надежность: компактная и модульная конструкция настольного типа с надежностью >99% - Воспроизводимость: высокая повторяемость измерений >99.5% - Постоянство измерений: картирование удельного сопротивления без частых калибровок Подробнее: