Развитие в последние десятилетия микроэлектроники потребовало появления адекватных ее масштабу коммутационных изделий. При габаритах чипа близких к 2х2мм размер обычного микропереключателя становится недопустимо большим. Одним из вариантов решения этой проблемы является микромеханический переключатель Рязанского завода Металлокерамических приборов MS1
Микропереключатель состоит из исполнительного механизма и электрических контактов заключенных в герметичный кремниевый корпус. Исполнительный механизм состоит из ферромагнитной пластины из гальванического сплава FeNi толщиной 8 микрон, прикрепленной с помощью гибких торсионных рычагов к кремниевой подложке, предварительно покрытой изолирующим слоем. Подвижная ферримагнитная пластина содержит электрические контакты, покрытые материалом из платиновой группы. На изоляционной подложке также расположены электрические контакты и проводники из золота. В герметичном кремниевом корпусе выполнены сквозные токопроводящие каналы, соединяющиеся с контактными площадками для поверхностного монтажа (SMD). Под влиянием внешнего магнитного поля контактная ферромагнитная пластина внутри датчика переориентируется вдоль линий магнитного поля, замыкая или размыкая цепь. Таким образом, состояние переключателя определяется только линией ориентации магнитного поля. Поэтому переключатель должен всегда находиться под влиянием магнита. Момент коммутации происходит в точке пересечения медианой магнита магнитного центра переключателя. Как компонент, пригодный для поверхностного монтажа (SMD), микропереключатель может припаиваться на печатную плату. Паяльные столбики сделаны из SnAgCu, могут применяться стандартные циклы оплавления (при 2600С).
Микропереключатель имеет следующие электрические параметры:
Рабочее напряжение от 0 до 5 вольт. Рабочий ток до 1 мА. Коммутационное сопротивление не более 2 Ом. Рабочий ресурс до 100 миллионов переключений. Микропереключатели MS1 могут применяться в авиа и автостроении, робототехнике, системах автоматики и многих других направлениях -там где требуется высокая надежность в сочетании с очень малыми размерами.