PECVD installation vacuum equipment

Xiangtan Hongfeng Mechanical Equipment Manufactory разрабатывает и производит лабораторное вакуумное оборудование PECVD (плазменно-усиленное химическое осаждение из паровой фазы) для выращивания тонких пленок нитрида кремния и оксида кремния в чистой вакуумной среде. Оборудование использует технологию химического осаждения из паровой фазы с ионным усилением, которая может осаждать высококачественные тонкие пленки, такие как нитрид кремния и оксид кремния. Оборудование имеет сильные функции защиты, включая обнаружение и защиту вакуумной системы, обнаружение и защиту давления воды, обнаружение и защиту последовательности фаз, обнаружение и защиту температуры. Конкретные шаги анализа и подтверждения требований нестандартного индивидуального варианта: детальное общение с технической командой Hongfeng VA, подтверждение конкретных требований к типу оборудования, функции, производительности и т.д. Этап проектирования: проектирование конструкции оборудования, системы газового пути, системы управления мощностью и т.д., и составление детальных чертежей в соответствии с требованиями. Закупка материалов: закупка ключевых компонентов, таких как материалы вакуумной камеры, нагревательные элементы, электроды и массовые расходомеры, которые соответствуют требованиям. Обработка и изготовление: выполнить обработку и изготовление в соответствии с проектными чертежами, включая сварку в вакуумной камере, сборку деталей и т.д. Наладку и испытание: после завершения изготовления оборудования следует провести наладку и испытание, чтобы обеспечить соответствие производительности оборудования требованиям. Доставка и обучение: Доставка оборудования клиентам и обеспечение обучения по эксплуатации и технической поддержки.