Фотолитография как основной инструмент в микроэлектронном производстве

Лекция Антона Шишлянникова, к.ф.-м.н., старшего научного сотрудника АО «НИИМЭ» — базового института кафедры микро- и наноэлектроники ФЭФМ. О чём лекция? Современные научные достижения неразрывно связаны с микроэлектроникой и её технологиями. Производство интегральных схем — базовая отрасль и исходный пункт формирования производственных цепей поставок электроники различных типов и назначения. Основной движущей силой микроэлектронного производства на протяжении десятилетий является фотолитография как основной инструмент создания субмикронных и нанометровых структур. В лекции будет рассказано о технологиях в микроэлектронике, в частности о литографии и её типах, а также об основных этапах литографического цикла при создании микроэлектронных устройств.