Основы нанохимии и нанотехнологий. Нанолитография. Часть 1

Курс Основы нанохимии и нанотехнологий. Модуль 9. Нанолитография. Часть 1 Плейлист Краткое содержание: Краткая история и понятие литографии Понятия микро- и нанолитографии Оптическая нанолитография (фотолитография) EUV-литография Электронная литография Ионно-лучевая литография Тайм-коды: 00:00| Приветствие и план на видео 00:44| Краткая историческая справка 05:46| О микро- и нанолитографии 11:41| Об оптической нанолитографии 12:44| Ф